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ACM Research verschifft sein erstes Ultra Lith KrF-Track-System an eine führende chinesische Halbleiterfabrik.
ACM Research hat sein erstes Ultra-Lith-KrF-Track-System eingeführt, das für die Herstellung von High-Throughput-Halbleitern konzipiert wurde.
Das System, das die Lithographieangebote von ACM erweitert, wurde im September 2025 an eine Top-Chinesische Logik-Wafer-Fab ausgeliefert.
Es verfügt über 12 Spin-Coater, 12 Entwickler und 54 heiße Platten für eine fortschrittliche thermische Steuerung, mit Echtzeit-Prozessüberwachung, um die Produktionseffizienz zu verbessern.
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ACM Research ships its first Ultra Lith KrF track system to a leading Chinese semiconductor factory.