Lam Research und Partner der JSR Corporation bei fortschrittlicher Chip-Making-Technologie, die Rechtsstreitigkeiten beendet. Lam Research and JSR Corporation partner on advanced chip-making tech, ending legal disputes.

Lam Research und JSR Corporation haben eine nicht-exklusive Lizenzierungs- und Kooperationsvereinbarung geschlossen, um die Halbleiterherstellung voranzutreiben, wobei der Fokus auf Mustertechnologien der nächsten Generation wie Trockenwiderstand für die EUV-Lithographie und Materialien für die Atomschichtätzung und -abscheidung liegt. Lam Research and JSR Corporation have formed a non-exclusive cross-licensing and collaboration agreement to advance semiconductor manufacturing, focusing on next-generation patterning technologies like dry resist for EUV lithography and materials for atomic layer etching and deposition. Die Unternehmen werden JSR/Inpria-Rosts und Filme mit Lam-Etch- und Depositionstechnologien integrieren, gemeinsam an Innovationen wie Metalloxid-Widerständen, hohen NA EUV-Mustern für fortgeschrittene Chips und neuen Materialien für Next-Gen-Prozesse arbeiten. The companies will integrate JSR/Inpria’s resists and films with Lam’s etch and deposition technologies, working together on innovations including metal oxide resists, high NA EUV patterning for advanced chips, and new materials for next-gen processes. Die Partnerschaft regelt auch die laufenden Rechtsstreitigkeiten zwischen den Parteien. The partnership also resolves ongoing litigation between the parties.