Imec produziert ultrakleine, einheitliche Nanoporen mit EUV-Lithographie, die Biosensoren für Genomik und Medizin voranbringen. Imec mass-produces ultra-small, uniform nanopores using EUV lithography, advancing biosensors for genomics and medicine.

Imec hat die erste Wafer-Skala-Produktion von Festkörper-Nanoporen mit EUV-Lithografie auf 300 mm Siliziumwafern erreicht, die eine Massenproduktion von hoch einheitlichen Nanoporen von 10 Nanometern mit Potenzial für Größen unter 5 nm ermöglicht. Imec has achieved the first wafer-scale production of solid-state nanopores using EUV lithography on 300mm silicon wafers, enabling mass production of highly uniform nanopores as small as 10 nanometers with potential for sizes below 5nm. Der CMOS-kompatible Prozess überwindet Skalierbarkeits- und Variabilitätsherausforderungen der Vergangenheit und führt zu einem Signal-Rausch-Verhältnis von 6.2, was auf eine starke Leistung bei der Erkennung molekularer Translokationen hinweist. The CMOS-compatible process overcomes past scalability and variability challenges, yielding a signal-to-noise ratio of 6.2, indicating strong performance for detecting molecular translocations. Dieser Durchbruch ebnet den Weg für Hochdurchsatz-Biosensor-Arrays mit Anwendungen in der Genomik, Diagnostik, personalisierter Medizin und molekularer Datenspeicherung und verwandelt die Nanoporentechnologie von der Laborforschung in die praktische, groß angelegte Anwendung. This breakthrough paves the way for high-throughput biosensor arrays with applications in genomics, diagnostics, personalized medicine, and molecular data storage, transforming nanopore technology from lab research to practical, large-scale use.